SJT 31108-1994 CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法
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ID： |
1A68A1F8DD214173BC915DB19F015800 |
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文件大小(MB)： |
0.29 |
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页数： |
3 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,CG—3000型单晶炉完好要求和检查,评定方法,SJ/T 31108-94,1主题内容与适用范围,本标准规定了 CG—3000型单晶炉的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于半导体器件生产用单晶炉,2完好要求,2.I 性能,2.1.1 设备产量,应能达到额定标准,2.1.2 各项性能指标,应满足生产エ艺要求,质量达到规定指标。其中下列指标应达到:,a.工作室充僦气真空度:2.7Xl()3pa；,b.工作室最高温度:1600L;,c.单晶直径精度误差:±1.27mm；,单晶直径控制方式：光敏二极管,2.2 操作系统,2 . 2.1各操作开关、按钮启动灵活,定位可靠、标志齐全,2 .2.2制动、限位装置齐全,灵敏可靠,2.3 传动系统,2. 3.1炉室、炉槽升降装置传动灵活,稳定可靠,2.3.2 籽晶、期"竭提升、旋转不应发生振动,不应有异常噪音和显著的冲击,2.3.3 变速箱传动运行正常。无异常噪音和停滞现象,2.3.4 主、副真空线阀控制传动灵敏可靠,2.4 真空系统,2. 4.1主、副二台真空泵。主泵抽真空能力为16. 2m3/min,副泵抽真空能力2.16m3/min。其完,好要求参照SJ/T 31412-94W型真空泵执行,2. 4.2主泵抽真空,炉室真空度不得低于5. 32Pa,2. 4. 3炉室在真空状态下,泄漏率不得超过13. 3Pa/h,2.5 液压系统,2.5.1 液压系统的运动件在规定的各种速度范围内,不应发生振动,不应有异常噪声和显著,的冲击,不应有停滞和爬行现象,2.5.2 液压系统各元件动作灵敏、可靠,工作压カ不应低于或过规定压カ的15%,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,1,sj/t 31108-94,2. 5. 3液压系统基本无漏油。即设备外部不得有3min滴一滴以上的漏油点。箱体内不得有连,续的漏油,2.5.4 液压系统中液压油的油质应符合规定要求,不得乳化和变质。液压油温升在正常工作,范围内,2.5.5 滤油器必须畅通清洁,滤油器不得有堵塞现象,2.5.6 液压泵工作正常,2.5.7 压力表等仪表齐全、完整,灵敏、可靠,指示准确。有有效期内校验合格证,2.6 电气系统,2.6.1 电气装置齐全、性能良好、运行可靠,保护装置齐全有效,2.6.2 管线完整,绝缘层无老化、无破裂,无漏电现象,2.6.3 电气箱内整洁,布线整齐,各种线路标志明显,连接可靠,2.6.4 各指示灯,按钮开关、齐全完整,工作可靠,2.6.5 温度、直径、电源变化等自动控制器性能稳定、可靠,无失常现象,2.6.6 电流、电压和功率各极限值设定正确,比例合理O,2.6.7 在等径状态下,单晶炉拉速、温度、直径加热器电源变化、自动控制装置性能应稳定可,靠,2.6.8 各种仪表灵敏、可靠,指示准确;温度记录仪工作正常,记录准确、无误。仪表、仪器有有,效期内校验合格证,2.7 微机控制系统,2.7.1 各开关、按钮、操作健完整无损,动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰,2.7.2 显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2. 7-3输入/输出程序正确无误,2.7.4 打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常,2.7.5 装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,2.7.6 所有裸露导体件（包括外壳）必须与保护接地端子构成通路,保证有永久良好的导电,性,保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于,2.8 机械系统,2.8.1 用堪、籽晶提升机构零、部件完整,无松动、脱落现象,升降平稳,无抖动现象，机构各部,应整洁无油污、积灰,2.8.2 炉槽、拉室提升立柱应清洁无油污,2.9 冷却系统,2.9.1 冷却器具齐全,2.9.2 冷却管路无直线状的漏流,2. 9. 3冷却水压カ应保持在13. 72X10’.27. 44X 104Pa之间,2.9.4冷却水水温应小于或等于35 C,2.10 安全防护,2.10.1 安全接地牢固可靠,2.10.2 水冷却报警、过电流报警、设备故障报警等装置性能,灵敏、可靠,不应有失误现象,2.10.3 设备接地可靠,标志明显,-2 -,SJ/T 31108-94,2.11 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检査、评定方法,3.1 检査方法,完好要求中,凡有参数要求的条款,应运用相应检测器具测定;其它均在设备现场,采用主,观法检査,3.2 评定方法,3. 2.1 完好要求中,2.1.1、2.1. 2,2. 6. 5,2. 8.1~2. 8. 2,2.10.1~2.10. 3 为主要项目,其余为,次要项目,3.2.2 主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目二项不符合要求,亦为不完好设,备,3.2.3 完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:成峰、蒋平,顾军建,吴正伟,—3 —……
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